潔凈技術

潔凈技術和裝備的市場十分巨大，隨著我國高新技術的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥工業(yè)的發(fā)展，我國潛在的巨大的潔凈技術產品市場，以每年40％~50％的增長速度在增加。 
 
      潔凈技術又稱為生產環(huán)境和污染控制技術，是近二、三十年來隨著高新技術發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學技術。潔凈技術專門并潔凈的生產工藝環(huán)境和生產過程中使用的各種高純介質，有效地控制微量雜質，以保證高科技產品的成品率和可靠性。潔凈技術通常包括：空氣凈化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術、微量雜質控制技術、潔凈環(huán)境的監(jiān)測技術及相關的環(huán)境質量的控制技術。凈化工程技術在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領域及現(xiàn)代科學領域中得到廣泛應用。 

       對于半導體設備來講，凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路，而集成電路的生產對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產業(yè)。凈化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學技術水平和工業(yè)水平的一個重要標志。

     隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環(huán)境及生活質量提出了越來越高要求，用水純化設備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術已開始進入千家萬戶，進入人們的現(xiàn)代生活。

     我國的潔凈技術和設備如凈化工作臺與國家相比差距是明顯的，我國1965年才開始生產的HEPA過濾器，比晚了十五年。1975年開始生產的光散射塵埃粒子計數(shù)器比晚了二十年。0．1微米潔凈技術和設備在上國家已成為成熟技術，我國則剛剛起步。

     世界各工業(yè)國家為適應凈技術的發(fā)展，對大量使用的過濾器的從未中斷，幾年來一直在開發(fā)不同結構不同性能的新產品，美國自1979年開始研制0．1微米PA過濾器，1984年美國AAF公司開始生產0．1微米無隔板PA過濾器，目前0．1微米PA過濾器在美國AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生產。日本也已成為世界上生產0．1微米PA過濾器多的國家，品種繁多，產品系列化，尤其是低壓損型0．1微米PA過濾器的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術難題。市場對空氣過濾器的需求量很大，且每年均有增長，目前日本每年銷售過100萬臺，按每臺平均200美元計算，銷售額達2億美元。我國空氣過濾器市場需求量已接近每年10萬臺，占市場的2％~4％，但至今還沒有0．1微米PA過濾器生產，用于大規(guī)模集成電路生產潔凈廠房及各種高科技領域潔凈廠房的0．1微米PA過濾器目前還要依賴。

    在潔凈室建設規(guī)模和技術水平上，我國與國家差距更大。日本清水建設公司，1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達71．8萬平方米，而我國目前一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米，但八五期間有較大發(fā)展，1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設規(guī)模更大，1998年統(tǒng)計已達188．5萬平方米。在潔凈工程技術水平上，80年代末期，已大量建成0．1微米級的凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0．1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達300次／分。美國在中國臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。我國使用的0，1微米十級潔凈室主要依賴從。由于高潔凈的潔凈室造價十分昂貴，0．1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術的發(fā)展。