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潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子大濃度限值進行劃分的等級標準。用空態(tài)和靜態(tài)方法進行測試。
十萬級無塵車間：是指空氣潔凈度為十萬級的潔凈車間。空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度，通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低，含塵濃度低則空氣潔凈度高。就是以每立方米空氣中的大允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級。
本文多角度闡述10萬級潔凈車間建造的標準規(guī)范,結合現(xiàn)行各規(guī)范標準,歸納出潔凈度10萬級凈化車間的特點。
從換氣次數(shù)角度上來說：
100000(10萬)級要求每小時換氣18-25次，換氣后空氣凈化時間不過40分鐘。
10000(1萬)要求每小時換氣25-30次，換氣后空氣凈化時間不過30分鐘。
1000(1千)要求每小時換氣40-60次，換氣后空氣凈化時間不過20分鐘。
各種等級包括10萬級凈化車間潔凈度標準參考如下：
ISO 14644 根據(jù)懸浮粒子濃度這個*指標來劃分潔凈室(區(qū))及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um～5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。
根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um～5.0um)、微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空氣潔凈度分級標準： ISO14644-1 (標準)
空氣潔凈度等級（N） | 大于或等于所標粒徑的粒子大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） | |||||
0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | 5 um | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
ISO Class 7 | 352 000 | 83 200 | 2 930 | |||
ISO Class 8 | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | |||
ISO Class 9 | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | |||
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平。 | ||||||
空氣潔凈度分級標準： GB/T16292-1996 (中準)
粒徑、數(shù)值潔凈度 | 塵埃大允許數(shù)/立方米 | 微生物大允許數(shù) | ||
≥0.5um | ≥5um | 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 | |
100 級 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000 級 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000 級 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000 級 | 10,500,000 | 60,000 | — | 15 |
英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級：
空氣潔凈度等級（N） | 大于或等于所標粒徑的粒子大濃度限值（個/每立方米空氣粒子） | ||||
0.3um | 0.5um | 5um | 10um | 25 um | |
C | 100 | 35 | 0 | ||
D | 1000 | 350 | 0 | ||
E | 10000 | 3500 | 0 | ||
F | 3500 | 0 | |||
G | 100000 | 35000 | 200 | 0 | |
H | 35000 | 200 | 0 | ||
J | 350000 | 2000 | 450 | 0 | |
K | 3500000 | 20000 | 4500 | 500 | |
L | 200000 | 45000 | 5000 | ||
M | 450000 | 50000 | |||
各種潔凈度標準的比較：
美國聯(lián)邦 | 美國聯(lián)邦 | 英準 | 澳大利亞標準 | 法準 | 德準 | 標準 | 日本標準 |
標準 209D | 標準 209E | BS5295 | AS1386 | AFNORX44101 | VDI2083 | 14644-1 | JACA24 |
1 | 1 | ||||||
— | 0 | 2 | 2 | ||||
1 | M1.5 | C | 0.035 | — | 1 | 3 | 3 |
10 | M2.5 | D | 0.35 | — | 2 | 4 | 4 |
100 | M3.5 | E | 3.5 | 4000 | 3 | 5 | 5 |
1000 | M4.5 | G | 35 | — | 4 | 6 | 6 |
10000 | M5.5 | J | 350 | 400000 | 5 | 7 | 7 |
100000 | M6.5 | K | 3500 | 4000000 | 6 | 8 | 8 |
M | 7 | 9 | — |
綜上以上標準，可以得出10萬級無塵車間凈化對應的參數(shù)如下：
潔凈度等級 | 塵粒大允許數(shù)/pc.m3 | 換氣次數(shù)/h | 氣流流型 | |
≥0.5μm | ≥5μm | |||
100 000 | 3 500 000 | 20 000 | 10~15 | 非單向流 |
10萬級無塵車間凈化標準
1.塵粒大允許數(shù)(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個;
3.微生物大允許數(shù);
4.浮游菌數(shù)不得過500個每立方米;
5.沉隆菌數(shù)不得過10個每培養(yǎng)皿。
壓差：相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa，凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa
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